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- 超薄柔性溫度傳感器破解工藝兼容性難題
- 來源：中國科學報 趙宇彤 發(fā)表于 2025/12/26
中國科學院新疆理化技術研究所研究員孔雯雯團隊采用“水溶性犧牲層輔助轉移”策略，成功破解了高性能敏感材料與柔性基底之間的工藝兼容性難題，制備出總厚度僅40微米的超薄柔性溫度傳感器。相關研究成果近日發(fā)表于《ACS應用材料與界面》。
團隊提出的方案關鍵在于將敏感材料的高溫制備工藝與其在柔性基底上的器件構筑過程分步進行。這一設計既保障了敏感材料必需的高溫退火條件，又避免了柔性基底因高溫而受損，從而為高性能無機材料與柔性襯底的結合提供了可靠技術路徑。
為保障材料轉移后的界面質量，研究團隊通過有限元仿真與實驗驗證，設計并構筑了GeO2/Ta2O5/MCO異質界面結構，實現(xiàn)了對界面性能的主動調控。該結構有效抑制了界面處的元素擴散和熱應力失配，顯著提升了器件的可靠性與結構完整性�；谏鲜鲛D移策略與界面設計，超薄傳感器展現(xiàn)出優(yōu)異的綜合性能。其電阻溫度系數(shù)（TCR）達-4.1%/℃，響應時間僅192毫秒，在反復彎折與熱沖擊下仍能穩(wěn)定工作。
研究團隊表示，該成果不僅顯著提升了超薄柔性溫度傳感器的綜合性能，更為發(fā)展下一代電子皮膚、可穿戴設備等柔性智能感知系統(tǒng)提供了關鍵技術支撐。
（原載于《中國科學報》 2025-12-22 第3版 綜合）
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